The non-thermal atmospheric pressure plasma jet (ntAPPJ) is a sophisticated plasma technology designed for advanced applications such as surface modification, plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD), and thin-film deposition. This technology operates under atmospheric conditions, utilizing a quartz capillary to produce a controllable plasma stream. It supports a range of noble gases with optional admixtures, making it highly adaptable for both industrial and research use.
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Non-Thermal Atmospheric Pressure Plasma Jet (ntAPPJ)
Auflistung Beschreibung
Angebot Details
Spezifikationen und Deliverables:
- Quartz capillary: 4 mm inner diameter, 6 mm outer diameter.
- Operating frequency: 27.12 MHz.
- Compatible gases: helium, neon, argon, krypton.
- Gas flow rates: 0.1 to 2 slm.
- Adjustable power range: 4 to 20 W.
- Two outer ring electrodes: 5 mm width, 5 mm apart.
- Inner capillary for precursor injection.
- Technology Readiness Level: TRL 4
Nutzenversprechen:
- Eliminates the need for expensive and complex vacuum systems.
- Provides precise and efficient plasma treatments under atmospheric conditions.
- Offers high adaptability for diverse applications with flexible configurations.
- Ensures easy integration into existing industrial or research setups.
Eingabe vom Kunden erforderlich:
• Specify the type of noble gas to be used (e.g., helium, neon, argon, krypton).
• Indicate any required admixtures or organic precursors.
• Provide details on the intended application, such as surface modification or PECVD, to optimize the plasma jet configuration.
Patent-/Veröffentlichungsnummer
Wichtigste Patentansprüche:
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