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Inline-Sputter-Pilotanlage Doro

Auflistung Beschreibung

Unser Inline-Beschichtungsgerät ermöglicht die Evaluierung von Sputtering-Prozessen und Beschichtungen auf flachen Substraten bis zu einer Größe von 600 x 800 mm2.

Spezifikation und Fähigkeiten:

  • Heizstrahler bis zu 350°C
  • DC-Glimmentladungsplasmabehandlung mit Argon, Sauerstoff, Stickstoff
  • AC-Glimmentladungsplasmabehandlung
  • Duales Magnetron-System (von Sputtering Components SCI inc.)
  • 3x PK75o Magnetrons mit 750 mm Kathodenlänge, die eine 550 mm lange homogene Beschichtung mit
  • Doppelseitige Beschichtungen
  • 2x drehbares Magnetron (SCI) mit Targetlänge 550 mm
  • Mehrere Stromversorgungen verfügbar: DC, gepulster DC, bipolar, HIPIMS
  • Beschichtung von Metall-, Oxid- und Nitridschichten in metallischen, reaktiven und oxidischen Konfigurationen
  • Ausrüstung für kontrollierte reaktive Sputtering-Prozesse verfügbar
  • In-situ-Reflektometrie

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

Sie erhalten:
– beschichtete Substrate (bis zu 800 x 600 mm²)
– Beratung, Prozessdaten

Nutzenversprechen:

Machbarkeitsstudien und Pilotproduktion von beschichteten Glas-, Kunststoff- und Metalloberflächen, z.B. für optische Anwendungen, Korrosionsbeständigkeit, transparente Leiter, intelligente Fenster.
Wir unterstützen Sie bei der Entscheidungsfindung für die Auswahl und den Kauf von Produktionsanlagen im Bereich der Dünnschichtbeschichtung.

Eingabe vom Kunden erforderlich:

Anwendungsgebiete:

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

Patent-Familie:

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Standort und Karte

Adresse:

An der Heide 3B
Mehlingen
Rheinland-Pfalz
67678
Deutschland

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