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Plasmaunterstützte Atomlagenabscheidung (PEALD)

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  • Prozessentwicklung & Lohnbeschichtung: Metalloxide & -nitride, (poly)kristallin/amorph, leitend/nicht leitend, einschließlich: Al2O3, SiO2, TiO2, TiN und deren Mehrfachschichten
  • Werkzeughersteller:
    halb- oder vollautomatische PEALD & ALE Batch-Tools
    auch für PEALD-ALE in-situ Verarbeitung (in einer Kammer!)
    für 150mm (4 auf einmal), 200mm (2 auf einmal), 300mm, 430mm Wafer-Substrate
  • FALP ® (Fast Atomic Layer Processing): optimierte, selbst entwickelte Technologie für schnelle Gaswechsel (bis zu 10ms) und Zykluszeiten von nur wenigen Sekunden (in der Regel unter 3,5s) kombiniert mit einer 10ms auflösenden Echtzeit-Prozessüberwachung
  • Beratung:
    Beratung für Ihre Plasmaprozesse
    Prozessanalyse und -optimierung (OES, IR-Absorption, Kammerdesign)
  • Technologieentwicklung:
    Maßgeschneiderte Komponenten für Ihre ALD-, ALE- und Plasmaanwendungen

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

Beratung
Projektmanagement
Prozess- und Technologieentwicklung
Komplettes PEALD & ALE Tool

Nutzenversprechen:

Zeitersparnis & höhere Produktivität (schnelle Prozesse mit der FALP-Technologie und kein Wechsel zwischen den Kammern bei kombinierten ALD/ALE-Prozessen)
Eine sichere Kammer durch ALD-ALE in-situ Verarbeitung

Eingabe vom Kunden erforderlich:

Anwendungsgebiete:

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

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Maria-Reiche-Straße 3
Dresden
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01109
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