Am Fraunhofer IPMS wurden zwei neue Layouts für die elektrochemische Analyse implementiert. Die Chipgröße beträgt jeweils 5 x 5 mm2. Die Chips haben gut definierte Goldelektroden und jeweils eine Silberelektrode, die anschließend chloriert werden kann, um als Referenzelektrode verwendet zu werden. Die Chips sind für die Verwendung mit dem Fraunhofer IPMS Messadapter (siehe oben) konzipiert, der die Elektroden über Goldpins kontaktiert und direkt an einen Potentiostaten angeschlossen werden kann.

Chipbeschreibung elektrochemischer Analysechip 7

Der analytische Chip 7 besteht aus 4 Goldelektroden und einer in der Mitte angeordneten Silberelektrode (siehe oben). Die Elektroden haben einen Durchmesser von ca. 107 µm. Jede Elektrode kann einzeln über ein 700 x 700 µm großes Kontaktpad angeschlossen werden.

Chipbeschreibung elektrochemischer Analysechip 8

Der oben links und in der Mitte gezeigte Analysechip 8 verfügt über eine Drei-Elektroden-Anordnung mit einer zentrierten kleinen Silberelektrode (1 960 µm2 ), die als Referenzelektrode verwendet werden kann, einer Arbeitselektrode aus Gold (181 000 µm2 ) und einer Gegenelektrode (181 000 µm2 ), die ebenfalls aus Gold besteht.

SEM: FIB-Schnitt

Um das Eindringen der Messlösung an den Elektrodenrändern zu vermeiden, sind die Elektroden so gestaltet, dass sie den Rand überlappen. In dem in Abb. 1 gezeigten Beispiel beträgt diese beispielsweise 3,8 µm. Das Ausmaß der Überlappung kann eingestellt werden.

Kontaktflächen der Chips

Mit einer Größe von jeweils 0,7 x 0,7 mm2 sind die Kontaktpads von Chip 7 und 8 groß genug, um mit einem Nadeladapter oder sogar kleinen, rückseitig isolierten Krokodilklemmen kontaktiert zu werden.