Suchen Sie einen flexiblen, fokussierten, objektiven und ertragsorientierten Partner, der Ihre Idee bis zum Proof of Concept des Geräts vorantreibt?
Die INL MNF Facility ist Ihr Hauptpartner von der frühen Phase der Konzeption bis zur letzten Phase. Von der Prozessintegration und -entwicklung bis hin zu den erfahrensten Prozessingenieuren für die neuesten Kerntechnologien. Die MNF-Einrichtung ist auf kleine Vorproduktionsserien vorbereitet und erleichtert den Technologietransfer in die Industrie und deren Standardisierung auch auf Multiprojekt-Wafern (MPW).
Was bieten wir in unseren Einrichtungen?
- Ein 700 m2 großer, frei zugänglicher Reinraum für Dienstleister, der modernste Fähigkeiten und interdisziplinäre Lösungen für 200 mm-Wafer bis hin zu Proben mit einer Größe von weniger als 10 mm bietet,
- Unterstützung in der gesamten Entwicklungskette bei Reinraumprozessen: Modellierung und Design von Geräten, Prozessintegration und Herstellung von Geräten, Verpackung und Tests,
- Kernbereiche der Herstellung:
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- (Dünn-)Schichtabscheidung und Wachstum von Materialien (Sputtern, CVD, ALD und Galvanisieren);
- Ätzen, Veraschen und Mikrobearbeitung (RIE und Deep RIE, isotropes Ätzen, Nassätzen und O2-Plasmastreifen);
- Optische und E-Beam-Lithographie (von µm bis zu 10 nm Auflösung, schnelle Musterreplikation und Invertierung von Mustern);
- Advanced Packaging, Annealing und Back-End: Prozesse (CMP, Dicing, SCPD);
- Inline-Prozessmesstechnik, Inspektion und Charakterisierung und Prüfung (SEM, OPM, OM, Dünnschichtwiderstand, Profilometer, Interferometer).
