EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) auch bekannt als energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDS, EDX, EDXS oder XEDS), manchmal auch energiedispersive Röntgenanalyse (EDXA oder EDAX) oder energiedispersive Röntgenmikroanalyse (EDXMA) genannt

Bei der Abbildung mit einem Elektronenstrahl geben die Präparationsatome charakteristische Röntgenstrahlen ab, die für jedes Element einzigartig sind. Der fortschrittliche EDS-Detektor sammelt dieses Signal und führt eine Analyse der elementaren Zusammensetzung an einem Punkt, einer Linie oder einer Oberfläche durch. Es ist möglich, eine Karte zu erstellen, die die Verteilung der identifizierten Elemente darstellt

Die Kombination aus modernem EDS-Detektor und Software hat eine sehr gute Energieauflösung und einen außergewöhnlichen Wirkungsgrad. Das vibrationsfreie Kühlsystem macht den Detektor zu einem der modernsten Geräte auf dem Markt für die hochauflösende Analyse und den Nachweis von Elementen von 4Be bis 95Am.

Mit der EDS-Technik können Sie die Zusammensetzung der Oberfläche und deren Querschnitte untersuchen. Eine sehr nützliche Technik zur Analyse von Defekten oder zur Analyse von hochentwickelten Materialien.