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Industrielle Trommelbeschichtungsanlage

Auflistung Beschreibung

Instrumentierung

  • Pyrometer
  • Oszilloskop
  • Optische Emissionsspektroskopie
  • Restgas-Analysator
  • Thermoelemente
  • Ellipsometer
  • Werkzeug zur Messung der Filmspannung
  • Profilometer
  • 4-Punkt-Sonde für elektrischen Widerstand

Verbrauchsmaterial

  • Sputtertargets
  • Gase
  • Substrate

Ressourcen

  • Analytisches Labor
  • Schulungsraum

Fähigkeiten

Die industriellen und optischen Vakuumbeschichtungsanlagen des Labors ermöglichen eine Vielzahl von Möglichkeiten für die Abscheidung von Dünnschichten:
  • Einzel- und Doppelmagnetronzerstäubung (SMS und DMS)
  • DC und gepulster DC bis zu 150/350 kHz
  • Bipolares Pulsieren bis zu 150 kHz
  • Dynamisches Umkehrpulsieren (DRP)
  • Anoden-Anwendungen
  • HiPIMS-Funktionen
  • Trommelvorspannung (RF, DC, gepulster DC, HiPIMS)
  • PowerInsight von Advanced EnergyTM

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

– Einzel- und Doppelmagnetronsputtern (SMS und DMS)
– Gleichstrom und gepulster Gleichstrom bis zu 150/350 kHz
– Bipolares Pulsen bis zu 150 kHz
– Dynamisches Umkehrpulsieren (DRP)
– Anodenanwendungen
– HiPIMS-Fähigkeiten
– Trommelvorspannung (RF, DC, gepulster DC, HiPIMS)
– PowerInsight von Advanced Energy

Nutzenversprechen:

Eingabe vom Kunden erforderlich:

Anwendungsgebiete:

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

Patent-Familie:

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Adresse:

Seligenstädter Str.
Karlstein am Main
Bayern
63791
Deutschland

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