Die Dicke der Schicht ist oft ein kritischer Parameter, der die Verwendbarkeit der hergestellten Elemente beeinflusst. Bei speziellen Beschichtungen aus Edel- und Halbedelmetallen muss deren Dicke innerhalb bestimmter Intervalle streng kontrolliert werden.
Die angebotene Schichtdickenmessung ermöglicht eine präzise Bestimmung der Schichtdicke an der vom Kunden angegebenen Stelle. Der hochauflösende Bildgebungsmodus ermöglicht die Messung von mehrlagigen Schichten mit einer Dicke von wenigen Nanometern.
Während der Dickenmessung wird ein lokaler Querschnitt erzeugt, dessen Oberfläche mit dem fokussierten Ionenstrahl poliert wird. Dies ermöglicht die Analyse der Querschnittsfläche des untersuchten Objekts mit elektronen- und ionenmikroskopischen Techniken. Diese Untersuchungen eignen sich hervorragend für die Qualität von Sinterungen, Schweißnähten und mehrschichtigen Strukturen (z.B. integrierte Schaltkreise oder Antireflexionsbeschichtungen).
