Das Quanta 3D 200i ESEM/Ga-FIB-Mikroskop kombiniert ein Elektronenmikroskop, das auf einer Wolframkathode basiert, und ein Ionenmikroskop. Sein großer Vorteil ist die Möglichkeit, drei Bildgebungsmodi zu verwenden: Hochvakuum (Hi-Vac), Niedrigvakuum (Lo-Vac) und Umwelt (ESEM). Je nach Art der Probe liegt das Auflösungsvermögen des Mikroskops bei ca. 300-500 nm. Im Niedervakuummodus (Lo-Vac) können Bilder von trockenen, nicht leitenden Proben ohne jegliche Vorbehandlung aufgenommen werden. Andererseits ermöglicht das Umwelt-SEM – dank des kontrollierten Vakuums – die Untersuchung von biologischen und anderen Präparaten, die unter Hochvakuumbedingungen zu gasen beginnen. Dabei kann es sich um Proben in flüssiger und fester Form, um sehr feuchte Proben und um alle Proben handeln, die mit Hochvakuum nicht kompatibel sind, z.B. pflanzliche und tierische Gewebe. Verfügbare Detektoren: ETD, BSE, LFD für Niedervakuum und GSED für den ESEM-Modus.
Es funktioniert mit vielen Materialien, wie z.B.:
- keramik
- Filme und dünne Filme
- Metalle
- Halbleiter
- nicht-hassende Objekte
- Polymere