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S2S Spatial Atomic Layer Deposition (SALD) System

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Das S2S Spatial ALD-System kombiniert Präzision auf atomarer Ebene mit der Geschwindigkeit und Skalierbarkeit, die für den industriellen Erfolg erforderlich sind. Es arbeitet bei Atmosphärendruck und ist bis zu 300-mal schneller als die herkömmliche ALD. Es ist flexibel für Forschung und Entwicklung und robust für die Pilotproduktion und ermöglicht einen nahtlosen Übergang von der Laborinnovation zur Fertigung im großen Maßstab.

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

  • Substratgröße – Flexibel, bis zu den vom Kunden definierten Abmessungen

  • Trägermaterialien – Glas, Wafer, Polymerfilme, Metalle, usw.

  • Betriebsdruck – Atmosphärisch

  • Materialien – AlOx, SnOx, TiOx, NiOx, AZO, HfOx, InOx, ZnOx, SiOx

Nutzenversprechen:

Die Zukunft der nächsten Generation von Solaranlagen, Batterien, grünem Wasserstoff und fortschrittlichen Verpackungen hängt von Fertigungswerkzeugen ab, die sowohl Präzision als auch Skalierbarkeit bieten. Das S2S Spatial ALD-System kombiniert die Flexibilität einer F&E-Plattform mit der Robustheit und dem Durchsatz eines Pilotproduktionswerkzeugs und erreicht atomare Präzision mit bis zu 300-facher Geschwindigkeit im Vergleich zur herkömmlichen ALD. Das System arbeitet bei Atmosphärendruck und ist an verschiedene Substrate und Prozesse anpassbar. Es beschleunigt die Entwicklung, senkt die Kosten und überbrückt die Lücke vom Konzept zur industriellen Produktion.

Eingabe vom Kunden erforderlich:

Anwendungsgebiete:

Solarenergie, Batterietechnologie, grüner Wasserstoff/Elektrolyseure und moderne Verpackungen.

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

Patent-Familie:

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Adresse:

Hastelweg 257
Eindhoven
Noord-Brabant
5652 CV
Niederlande

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