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Schichtentwicklung von PVD-Systemen und Musterbeschichtung

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Wir entwickeln funktionale Oberflächen für eine Vielzahl von Anwendungen. Dazu setzen wir großflächige Beschichtungsprozesse ein.

Wir erarbeiten Lösungen basierend auf dem Sputterverfahren für die Bereiche Photovoltaik, Solarthermie, Gebäude, Dünnschichtbatterien und Wasserstofftechnologie. Die Anwendungen umfassen z. B. transparente Elektroden und farbige Abdeckscheiben (MorphoColor®) für die Photovoltaik, Low-Emissivity und Solar Control-Coatings, optisch schaltbare Systeme, Vogelschutzglas und funktransparentes Isolierglas sowie Vakuumisolationsverglasung für energieeffiziente Gebäude, Schutzschichten für Brennstoffzellen und Elektrolyseure oder Absorber- und Spiegelschichten im Bereich der Solarthermie und der konzentrierenden solarthermischen Kraftwerke. Unsere Schichten erhöhen die Energieeffizienz von Gebäuden, ersetzen teure Materialien, erhöhen den Wirkungsgrad, verlängern die Lebensdauer oder machen den Einsatz von PV an Fassaden attraktiv.

Angebot Details

Spezifikationen und Deliverables:

Technische Ausstattung:

Beschichtungsanlagen:

  • Horizontale Inline-Sputteranlage (HIP) mit einer Beschichtungsfläche bis zu 1,5m x 6m: 9 Planar- und Doppelrohrkathoden, einer PECVD-Quelle sowie einer Plasmaätzstation. Die maximale Stichhöhe von 16cm ermöglicht das Beschichten von gebogenen Substraten und Rohren. Substrattypen: Glasscheiben, Polymerfolien und Metallbleche
  • Vertikale Inline-Sputteranlage (VIP) mit einer Beschichtungsfläche bis zu 1,1m x 0,65m: 5 Planar- und Doppelrohrkathoden sowie eine Plasmaätzstation; Stichhöhe: 4cm
  • Batch-Sputteranlage für die Beschichtung von Substraten von ca. 150mm Durchmesser, 3 Planarkathoden mit 1 RF- und 2 DC-Quellen; Co-Sputtern möglich
  • Filmziehgerät zum homogenen Auftragen Aufbringung von Lacken, DIN A4

Charakterisierung funktionaler Oberflächen:

  • Fourierspektrometer zur optischen Charakterisierung
  • Rasterelektronenmikroskop (REM)
  • Rasterkraftmikroskop (AFM)
  • Weißlichtinterferenzmikroskop
  • Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
  • Röntgenfluoreszenzanalyse (XRF)
  • Lichtmikroskop
  • Messung der Schichtspannungen in dünnen Schichten
  • Mechanische Abriebtests
  • Elektrochemische Charakterisierungsmethoden
  • Diverse Öfen verschiedener Größen für unterschiedliche Umgebungsbedingungen (Luft, Vakuum, Gase)
  • Zwei Klimakammern für Bewitterungstests

 

Nutzenversprechen:

Auf unserer größten Sputteranlage mit 9 Planar- und Doppelrohrkathoden sowie Plasmaätzstation und PECVD-Quelle können wir Beschichtungen von Pilotserien und Demonstratoren bis zu einer Größe von 6m x 1,5m durchführen. Zusätzlich zur Optimierung der optischen Eigenschaften entwickeln wir die Schichtsysteme für die jeweiligen Anforderungen des Endprodukts, z. B. Langzeitstabilität im Außeneinsatz und industrielle Skalierbarkeit. Weiterhin bieten wir Unterstützung bei der Systemintegration der funktionellen Schichtsysteme, z. B. im Modul oder in der Fassade.

Unser Leistungsspektrum umfasst Machbarkeitsstudien, Kleinserienfertigungen sowie Produktentwicklungen bis hin zu den fertigen industriellen Prototypen.

Begleitende optische Dünnschichtsimulationen mit unserer eigenen Software RAT, Messungen zur Charakterisierung der verschiedensten Schichteigenschaften sowie Design und Durchführung von Belastungstests runden unser Leistungsspektrum ab. 

Eingabe vom Kunden erforderlich:

Anwendungsgebiete:

In folgenden Anwendungsbereichen sind wir aktiv.

Photovoltaik

  • transparente Elektroden für organische und Perowskit-PV, Dünnschichtsolarzellen und LEDs
  • ladungsträgerselektive Schichten
  • farbige PV Deckgläser
  • Anti-Reflex-Schichten
  • Dotierschichten

Solarthermie

  • niedertemperaturselektive Absorberschichten auf innovativen Substratmaterialien (z. B. Ultrahochleistungsbeton)
  • hochtemperaturstabile selektive Absorberschichten für Parabolrinnenkollektoren, Solarturmreceiver
  • hochtemperaturstabile Spiegelschichten (Sekundärkonzentrator für Solartürme)
  • Spiegelschichten für Primärspiegel

Energieeffiziente Komponenten für Fenster- und Fassadenbereich

  • low-e Beschichtungen und Sonnenschutzschichten auf Glas und Polymerfolien
  • optisch schaltbare Systeme
  • Vakuumisolationsverglasung

 Brennstoffzellen und Wasserstoffbereitstellung 

  • Schutzschichten für Bipolarplatten

Prozesstechnik

  • O2-Sensoren für PVD-Beschichtungsanlagen, Medizintechnik
  • KI für Prozessautomatisierung

Sonderanwendungen

  • lötfähige Schichten auf herkömmlich nicht lötfähigen Oberflächen
  • Basisschichten für Laserübertragung
  • Korrosionsschutzschichten für elektrochemische Anwendungen
  • Funktransparentes Isolierglas
  • Vogelschutzglas
  • Schichten für Laser Forward Transfer (LFT)

 

Patent-/Veröffentlichungsnummer

Wichtigste Patentansprüche:

Patent-Familie:

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Standort und Karte

Adresse:

Heidenhofstraße 2
Freiburg im Breisgau
Baden-Württemberg
79110
Deutschland

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