Helios G4 PFIB CXe ist ein Zweistrahlmikroskop mit einer Elektronensäule und einer Ionensäule, die einen Xenon-Ionenstrahl erzeugt. Die Xenon Plasma Focused Ion Beam (Xe-PFIB) Technologie ermöglicht neue Tests, die mit anderen Methoden unerreichbar sind. In Kombination mit einem ultrahochauflösenden Elektronenmikroskop und einem schnellen EDS-Detektor von Bruker ist es das einzige Analysesystem dieser Art, das in Polen kommerziell erhältlich ist. Es zeichnet sich unter anderem dadurch aus, dass es bis zu 50 Mal schneller arbeitet als die Galliumtechnologie (Ga-FIB), keine Ionenimplantation benötigt und mit den meisten Materialien kompatibel ist – einschließlich Aluminiumproben und galliumhaltigen Proben. Verfügbare Detektoren: ETD, TLD, ICE, ICD und EDS.
PARAMETER
Lande-Spannungsbereich:
- Elektronenstrahl: 50 V – 30 kV,
- Ionenstrahl: 2 kV – 30 kV.
Auflösung:
- Elektronenstrahl: 1 nm,*
- Ionenstrahl: <25 nm.*
Maximaler Stichprobenumfang:
- Durchmesser: 150 mm Durchmesser bei voller Drehung (Montage größerer Präparate möglich*),
- Höhe: 100 mm,
- Gewicht: 500 g (einschließlich des Probenhalters).
DETEKTE
- ETD (sekundäre Elektronen)
- TLD (sekundäre Elektronen)
- CBS rückgestreute Elektronen)
- ICE (sekundäre Ionen)
- EDS (charakteristische Röntgenstrahlen*)