Eine der Hauptanwendungen der Zweistrahlsysteme SEM/FIB (Rasterelektronenmikroskop) / (fokussierter Ionenstrahl) ist die Probenvorbereitung für die TEM (Transmissionselektronenmikroskopie). Damit die TEM-Messung möglich ist, sollte die Probe so vorbereitet werden, dass ihre Dicke unter 100 nm liegt. Diese kritische Dicke ermöglicht die Transmission des Elektronenstrahls durch die Probe und damit die Abbildung der feinen Mikrostruktur des Präparats.
Die Lift-Out-Methode als Ionenstrahltechnik mit dem Nutzen von Dual-Beam-Systemen SEM/FIB ist eines von vielen TEM-Lamellenpräparationsverfahren. Obwohl die Lift-Out-Methode im Allgemeinen teurer ist, liefert sie bessere TEM-Ergebnisse und die Technik selbst ist direkt, flexibel und wird zu 100% vom SEM/FIB-Operator kontrolliert.
