Präzisionsbeschichtung Viele Anwendungen in den Bereichen Optik, Elektronik, Sensorik, Energie- und Medizintechnik erfordern hochpräzise Schichten. Das Fraunhofer FEP entwickelt Abscheidungshardware

Abscheidung von hochisolierenden Schichten durch Magnetronsputtern Einige Materialien wie Aluminiumoxid (Al 2O3 ), Siliziumdioxid (SiO2) und Siliziumnitrid (Si3N4) weisen hervorragende

Wir nutzen Sputter-Technologien und Hochraten-PECVD, um Prozesse für die präzise und homogene Abscheidung von optischen, elektrischen, akustischen und magnetischen Schichten

Hochpräzise Schichten werden für eine Vielzahl von Anwendungen im Bereich der Optik, Elektronik und Sensorik, Solarenergie und Biomedizintechnik benötigt. Stationäre

Derzeit ist eine steigende Nachfrage nach autonomen Sensoren und Systemen mit drahtloser Funkverbindung und autonomer Energieversorgung zu beobachten. Dies ist